太阳诱电展出检测灵敏度为1ppb的气体传感器

　　太阳诱电开发出检测灵敏度为1ppb的气体传感器，并在2007年10月2日开幕的“CEATEC JAPAN 2007”上展示。气体传感器在硅晶圆上形成介电膜，因其吸附气体的特点太阳诱电将其称为“纳米级气体传感器”。介电膜本身尺寸极小，为80μm×500μm，便于实现传感器整体的小型化。

　　关于用途，太阳诱电首先考虑用于半导体生产设备内氧气残留测定等生产线用途。目前，进行ppb级的检测仅限于工厂设备安装时使用分析设备来检测残留气体的浓度。该公司认为，今后随着半导体工艺的微细化，必须提高在线气体检测精度，1ppb～数ppb的高检测灵敏度传感器的需求将增大。

　　此次开发出的传感器利用介电膜吸附气体后，介电膜的电阻值出现变化，以此来检测气体。具体的检测方法如下。在介电膜吸附欲检测的气体后，检测介电膜的电阻值。然后，加热介电膜使强介电体变化为正常介电体，放出气体。之后再次使介电体吸附气体，并测量电阻值恢复到之前的检测值所需时间。由于气体再次被介电体吸附的时间与气体浓度成反比，所以可以测定气体浓度。通过检测气体放出时的电阻值的时间变化，能够实现高检测精度。过去的半导体气体传感器也是利用气体吸附来检测电阻值的变化，不过控制气体的放出较难，检测电阻值的时间变化也很难。

　　此次展示的传感器的开发为日本经济产业省的2007年地区新建产业制造技术开发费用补助项目。目标是09年供应样品。如果实现量产的话，估计包括检测电路在内的单价将控制在数万日元以内。