原来的小型马达,比如电磁式马达,由于线圈和磁铁的小型化空间的限度,因此很难使直径减小到1mm以下。而超声波马达则需要在压电元件和增压机构的配置上下功夫,同样存在小型化空间有限的问题。
新开发的马达可归为超声波马达的一种。具体来说,马达外部设有超声波振荡源。使用直径为50μm的金属丝作为导波路,通过向前端的线圈状定子传播超声波,使接触定子的柱状转子旋转。与原来的马达相比,不仅构造简单,而且部件数量少,可轻松实现小型化。另外,并不是向马达传输电气信号,而是直接将振动传输给马达使其旋转,这一构造还可实现在液体中的旋转。在作为手表导波路的金属丝方面,精工仪器使用了用于机械手表发条所开发的Spron材料。
此次开发的产品,不包括转子轴的长度为3.6mm,转速为2000~4000rpm。扭矩在0.2μN·m以下。今后还将进一步提高作为马达的特性,力争能够使用于各种领域。